List of Illustrations
1-1 Speed and Throughput Curves – HS-20 Diffusion Pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1-2 Outline Drawing – HS-20 Diffusion Pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
1-3 Cooling Water Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7 1-4 200/240/400/430/440/480 V Wiring Diagram – HS-20 Diffusion Pump . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9 1-5 380/415V Wiring Diagram – HS-20 Diffusion Pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-10 1-6 Sight Glass Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12 3-1 External Fittings – Cold Cap Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
3-2 20-inch Jet Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-6 3-3 Jet Coupling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8 3-4 Heater Element Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9
List of Tables
1-1 Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1 4-1 Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1