Olicom 9600 manual Installation, Operation, Maintenance

9600 Compressor Installation, Operation, and Maintenance

Table of Contents (continued)

Section 3 - Installation

Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1

Supply and Return Water Line Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3

Hard Water Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3

Flexible Water Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3

Electrical Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4

Power Cable Preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4

Phase Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-6

Cryopump Power Phase Switch Setting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7

Connecting/Disconnecting Helium Flex Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7

Connecting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7

Disconnecting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8

Single On-Board Cryopump Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9

Single Cryo-Torr Cryopump Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10

Multiple On-Board Cryopump Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11

Helium Line Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11

Power Cable Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12

Multiple Cryo-Torr Cryopump Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-13

Helium Line Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-13

Power Cable Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14

Section 4 - Operation

Adjusting System Helium Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1 Static Helium System Pressure Verification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1 Compressor Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2 Replacement of Helium Circuit Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3

Section 5 - Maintenance

Scheduled Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1

Suggested Maintenance Equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1

Adsorber Replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2

Adjusting System Helium Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4

Reducing Helium Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4

Increasing Helium Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5

Adding Helium . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5

5 P/N 8040540